[发明专利]电子回旋共振等离子体源有效
| 申请号： | 200780035241.8 | 申请日： | 2007-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN101517691A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | J·马伊;V·费尔;B·拉乌 | 申请（专利权）人： | 德国罗特·劳股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 邓 斐 |
| 地址： | 德国霍恩施泰*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种ECR等离子体源，包括一个同轴的微波供给线(1)，它具有一内导体(2)和一外导体(3)，其中，内导体(2)以其一个端头作为天线(7)绝缘地穿过一个真空法兰(5)，该真空法兰将壁中通往等离子体室(6)一个孔口封闭。与微波供给线(1)同轴地设置一个多极磁体装置(8)，其磁场穿过真空法兰(5)，并在等离子体室(6)中与天线(7)同轴地形成一个环形缝隙磁场(12)。天线(7)直接伸入到等离子体室(6)中，并且对置于内导体(2)具有一个在径向加大的天线头(14)，在该天线头上平行于真空法兰(5)有一个底面(15)，使得在真空法兰(5)和底面(15)之间形成一个环形缝隙(16)；并且等离子体室(6)与天线(7)同轴地和径向上在环形缝隙磁场(12)的外面由一个屏蔽(13)加以限界，该屏蔽的背向真空法兰的端面确定出等离子体出口(25)。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 回旋 共振 等离子体 | ||
【主权项】：
1.ECR等离子体源，包括一个同轴的微波供给线(1)，该微波供给线有一个内导体(2)和一个外导体(3)，其中，内导体(2)以一个端头作为天线(7)绝缘地穿过一个真空法兰(5)，该真空法兰将壁中通往等离子体室(6)的一个孔口封闭；还包括一个与微波供给线(1)同轴设置的多极磁体装置(8)，其磁场穿过真空法兰(5)，并且在等离子体室(6)中与天线(7)同轴地形成一个环形缝隙磁场(12)，其特征在于：天线(7)直接伸入等离子体室(6)中并且对置于内导体(2)具有一个在径向加大的天线头(14)，在该天线头上，平行于真空法兰(5)有一个底面(15)，使得在真空法兰(5)和底面(15)之间形成一个环形缝隙(16)；等离子体室(6)与天线(7)同轴地并且径向上在环形缝隙磁场(12)的外面由一个屏蔽(13)加以限界，所述屏蔽的背向真空法兰的端面确定出等离子体出口(25)。
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