[发明专利]弹性边界波装置

摘要

提供一种无论占空比的大小如何都能降低插入损耗的弹性边界波装置。一种弹性边界波装置(1)，其特征在于，包括：由以使Y轴旋转15°±10°的面为主面的LiNbO₃构成的压电体(2)，层叠在上述压电体(2)上、由氧化硅构成的电介质(3)，及配置在上述压电体(2)和电介质(3)的边界、含IDT的电极结构(4)；在利用在该边界传播的弹性边界波的弹性边界波装置中，当设上述IDT的密度为ρ(kg/m³)、膜厚为H(μm)、由IDT的电极指的周期决定的波长为λ(μm)、占空比为x时，H/λ和ρ的乘积、与x满足下述式(1)的范围。(数1)(H/λ)×ρ＞70.7924(x+0.055)^(-2.0884)+797.09 …(式1)。

主权项

1、一种弹性边界波装置，包括：由以使Y轴旋转15°±10°的面为主面的LiNbO3构成的压电体；层叠在上述压电体上且由氧化硅构成的电介质；及配置在上述压电体和电介质的边界且含IDT的电极结构；上述弹性边界波装置利用在该边界传播的弹性边界波，当设上述IDT的密度为ρ(kg/m3)、膜厚为H(μm)、由IDT的电极指的周期决定的波长为λ(μm)、占空比为x时，H/λ和ρ的乘积、与x满足下述式(1)的范围：(H/λ)×ρ＞70.7924(x+0.055)(-2.0884)+797.09…(式1)。