[发明专利]有机金属前体化合物无效
| 申请号： | 200780035872.X | 申请日： | 2007-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN101516900A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | D·M·汤普森;D·W·彼得斯;S·H·米埃尔 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯技术有限公司 |
| 主分类号： | C07F17/00 | 分类号： | C07F17/00;C23C16/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 万雪松;韦欣华 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及由式(L1)yM(L2)z-y代表的有机金属化合物，其中M是第5族金属或第6族金属，L1是被取代的或者未被取代的阴离子型6电子供体配体，L2是相同或不同的且是(i)被取代的或者未被取代的阴离子型2电子供体配体，(ii)被取代的或者未被取代的阳离子型2电子供体配体，或(iii)被取代的或者未被取代的中性的2电子供体配体；y是整数1，和z是化合价M；和其中M的氧化值与L1和L2的电荷之和等于0；生产该有机金属化合物的方法；以及通过该有机金属前体化合物的热或等离子增强的解离在基材上沉积金属和/或金属碳化物/氮化物层的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 金属 化合物 | ||
【主权项】：
1.一种具有式(L1)yM(L2)z-y的化合物，其中M是第5族金属或第6族金属，L1是被取代的或者未被取代的阴离子型6电子供体配体，L2是相同或不同的且是(i)被取代的或者未被取代的阴离子型2电子供体配体，(ii)被取代的或者未被取代的阳离子型2电子供体配体，或(iii)被取代的或者未被取代的中性的2电子供体配体；y是整数1，和z是化合价M；和其中M的氧化值与L1和L2的电荷之和等于0。
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