[发明专利]扩径管型等离子体生成装置有效
| 申请号： | 200780035976.0 | 申请日： | 2007-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN101518161A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 椎名祐一 | 申请（专利权）人： | 日本磁性技术株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;C23C14/24;C23C14/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的是提供一种有效率地除去混入到等离子体中的微滴，而且能够简单并且廉价地构成微滴除去部，可望由高纯度等离子体提高成膜等的表面处理精度的等离子体生成装置。在等离子体行进路(5)中配置用来除去在产生等离子体时从阴极(4)副生的微滴的微滴除去部。该微滴除去部由形成等离子体行进路(5)的扩径管(3)、与扩径管(3)的等离子体导入侧始端连接的导入侧缩径管(34)、与扩径管(3)的等离子体排出侧终端连接的排出侧缩径管(39)和形成在扩径管(3)的始端及终端的阶梯部(40)构成。 | ||
| 搜索关键词： | 扩径管型 等离子体 生成 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体生成装置，所述等离子体生成装置具备在真空环境下进行真空电弧放电而产生等离子体的等离子体产生部，和供所述等离子体产生部产生的等离子体向被等离子体处理部侧行进的等离子体行进路，其特征在于，在所述等离子体行进路配置用来除去在产生等离子体时从阴极副生的阴极材料粒子(下称“微滴”)的微滴除去部，该微滴除去部由扩径管、与所述扩径管的等离子体导入侧始端连接的导入侧缩径管、与所述扩径管的等离子体排出侧终端连接的排出侧缩径管，和形成在所述扩径管的所述始端及所述终端的阶梯部构成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本磁性技术株式会社，未经日本磁性技术株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780035976.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：导体载体以及带有导体载体的组件
- 下一篇：移动体终端装置
