[发明专利]玻璃抛光组合物及方法无效
| 申请号： | 200780038453.1 | 申请日： | 2007-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN101528882A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 内文·纳吉布;凯文·莫根伯格 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋 莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供适用于在约110g/cm2或更小的下压力下抛光玻璃基板的玻璃抛光组合物及方法。一种优选的抛光组合物包含悬浮于含有聚合物稳定剂及任选的水溶性无机盐的含水载体中的颗粒状二氧化铈研磨剂，其中，所述聚合物稳定剂的量例如为约50至约1500ppm，所述颗粒状二氧化铈研磨剂的量例如为约1至约15重量％。优选地，该颗粒状二氧化铈研磨剂具有约0.35μm至约0.9μm的平均粒度。另一优选的组合物包含约1至约15重量％的悬浮于含水载体中的颗粒状二氧化铈研磨剂，其中，所述颗粒状二氧化铈研磨剂的特征在于平均粒度为至少约0.2μm且CeO2的纯度为至少约99.9重量％，所述含水载体的pH值比该二氧化铈研磨剂的等电点(IEP)高或低至少约1个单位。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 抛光 组合 方法 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃抛光方法，其包括用含水玻璃抛光组合物研磨玻璃基板的表面一段足以从该表面移除该玻璃的至少一部分的时间；其中，该抛光组合物包含约1至约15重量％的悬浮于含水载体中的颗粒状二氧化铈研磨剂，所述颗粒状二氧化铈研磨剂的特征在于平均粒度为约0.35μm至约0.9μm，所述含水载体含有约50至约1500ppm的聚合物稳定剂。
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