[发明专利]皮尔斯电子枪的电子束聚焦的控制方法及控制装置有效
| 申请号： | 200780038510.6 | 申请日： | 2007-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN101529550A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 饭岛荣一;沈国华;佐竹彻 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 黄永杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 皮尔斯电子枪的电子束聚焦的控制中，消除电子枪内部的空间电荷效应及空间电荷中和作用的影响，使电子束的控制完善。通过直接测定上述皮尔斯电子枪内部温度，来反馈控制电子枪内部的压力。直接测定上述皮尔斯电子枪的内部温度的位置，优选阴极(39)、流体调节器(43)。其次，也可以是设置在阴极室(31)、中间室、摆动室(33)的任一者的出口或入口处的环、光阑、排气筒中任一个。据此，产生束的部分的稳定性(电子枪自身的最优化设计)、束输送部的稳定性及束使用部的稳定性都变得良好。 | ||
| 搜索关键词： | 皮尔斯 电子枪 电子束 聚焦 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种皮尔斯电子枪的控制方法，其特征在于，直接测定皮尔斯电子枪的内部温度。
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