[发明专利]确定表面和厚度有效
| 申请号： | 200780038629.3 | 申请日： | 2007-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101529200A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | H·克拉内 | 申请（专利权）人： | 芬兰技术研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/25;G01S17/32;D21F7/06;G01B11/14;G01N21/21;G01N21/55 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦 晨 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 光辐射处理单元(112)以这样的方式将从光源(104)发射的不同波长的光辐射从与被测量的表面(116)的法线(118)不同的方向引导至被测量的物体(114)，使得不同波长聚焦在被测量的表面(116)的法线(118)的方向上的不同高度处。可能的偏振器(120，122)以垂直于表面(116)的法线(118)的方向偏振反射的光辐射。光辐射处理单元(112)将其从被测量的物体(114)接收的偏振的光辐射引导至检测器(108)。信号处理单元(124)基于检测器(112)提供的信号从检测到的光辐射确定光辐射的强度最高的波长，并通过确定的波长来确定表面(116)的位置。当从两面测量物体(114)时，被测量的物体(114)的厚度可以使用表面的位置来确定。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 表面 厚度 | ||
【主权项】：
1.一种使用光辐射来确定被测量的物体的表面的测量装置，其特征在于，该测量装置包括：光源(104)；光辐射处理单元(112)，被设置为以这样的方式将光源(104)的不同波长的光辐射从与被测量的表面(116)的法线(118)不同的方向引导至被测量的物体(114)，使得不同波长聚焦在被测量的表面(116)的法线(118)的方向上的不同高度处；检测器(108)，光辐射处理单元(112)被设置为至少从与被测量的表面(116)的法线(118)的方向不同的镜面反射的方向，将光辐射处理单元(112)被设置为从被测量的物体(114)接收到的光辐射引导至该检测器(108)；信号处理单元(124)，被设置为：基于检测器(112)所提供的信号从检测到的光辐射中确定光辐射的强度最高的波长，并使用确定的波长来确定被测量的表面(116)的位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于芬兰技术研究中心，未经芬兰技术研究中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780038629.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
