[发明专利]给去离子水充碳酸气的设备、系统和方法无效
| 申请号： | 200780038781.1 | 申请日： | 2007-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101528612A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | J·塞沃特;U·布拉默;C·戈茨查克;J·洛尔 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/68 | 分类号： | C02F1/68 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 郭 辉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了用于湿法清洁半导体器件的设备、系统和方法。具体说来，提供了可用来输送含所需浓度CO2的去离子水的系统，以及用来产生含所需浓度CO2的去离子水的方法，所述系统和方法可用于湿法清洁半导体器件。 | ||
| 搜索关键词： | 离子水 碳酸气 设备 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种对去离子水充碳酸气的系统，其包括：a)去离子水源；b)二氧化碳气源；c)与水源和气源流体连通的接触室，所述接触室产生充碳酸气的去离子水，所述接触室具有排出充碳酸气的去离子水的出口；d)至少一个与所述出口流体连通的传感器，用于测量充碳酸气的去离子水的参数；e)与所述传感器连接的前馈回路，用于调节接触室中产生的充碳酸气的去离子水的电导率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于MKS仪器股份有限公司，未经MKS仪器股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780038781.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：任务处理装置
- 下一篇：介质盘存储容器和将介质盘信息薄片安装到其上的方法
