[发明专利]制备低电阻率掺杂氧化锌涂层及由此制成的物件的方法无效

专利信息
申请号: 200780039304.7 申请日: 2007-05-03
公开(公告)号: CN101547873A 公开(公告)日: 2009-09-30
发明(设计)人: M·B·阿布拉姆斯;G·B·古铁雷斯;R·Y·科罗特科夫;K·D·桑德森;G·S·西尔弗曼;R·史密斯;J·L·斯特里克;L·叶 申请(专利权)人: 皮尔金顿集团有限公司;阿肯马公司
主分类号: C03C17/245 分类号: C03C17/245
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 李 进;韦欣华
地址: 英国默*** 国省代码: 英国;GB
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摘要: 一种低电阻率、掺杂氧化锌涂层玻璃物件通过以下方法制成,提供具有待沉积涂层的表面的热玻璃衬底,表面温度至少为400℃。将含锌化合物、含氧化合物和含铝或镓化合物引到待沉积涂层的表面上。使含锌化合物、含氧化合物和含铝或镓化合物一起混合足够时间,以大于5纳米/秒的沉积速率在表面上形成掺铝或镓的氧化锌涂层。
搜索关键词: 制备 电阻率 掺杂 氧化锌 涂层 由此 制成 物件 方法
【主权项】:
1. 一种低电阻率、掺杂氧化锌涂层玻璃物件的制备方法,其包括:提供具有待沉积涂层的表面的热玻璃衬底,表面温度至少为400℃;和将含锌化合物、含氧化合物和含铝或镓化合物引到待沉积涂层的表面上,使含锌化合物、氧源和含铝或镓化合物一起混合足够时间,以大于5纳米/秒的沉积速率在表面上形成掺铝或镓的氧化锌涂层。
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