[发明专利]具有垂直铰链结构的微镜面器件有效
| 申请号： | 200780040211.6 | 申请日： | 2007-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN101595415A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 杉本直也;前田义浩;市川博敏 | 申请（专利权）人： | 硅索株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京天平专利商标代理有限公司 | 代理人： | 孙 刚 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一个镜面器件包括：衬底上的许多电极；与至少一个电极相连的铰链；与至少和一个电极相关的铰链相接触的镜面，其中铰链和镜面间和/或铰链和电极间有一阻挡层。另外，还有一种制造这种镜面器件的器件制作方法。此外，还有由这种镜面器件组成的投影装置。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 垂直 铰链 结构 微镜面 器件 | ||
【主权项】：
1.镜面器件，包括：衬底上的许多电极；与至少一个电极相连，沿所述衬底垂直向外方向的铰链；上述铰链支撑顶部沿水平方向放置的镜面，电极附近上述铰链剖面积小于或等于镜面附近上述铰链的剖面积。
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