[发明专利]旋转导入机构、基板搬运装置和真空处理装置

摘要

本发明提供了一种将大气一侧的旋转运动传送到真空中、并且结构简单滑动阻力低的长寿命旋转导入机构、回转半径小并且产生的灰尘少的基板搬运装置、以及真空处理装置。在真空密封机构上安装润滑剂保持部件(5)。基板搬运装置的结构是，第1连接机构(20a)包括第1臂(21a)和第4臂(21b)，第2连接机构(20b)包括第2臂(22a)和第3臂(22b)，第1臂(21a)固定安装在第1驱动轴(25)上，第2臂(22a)固定安装在第2驱动轴(26)上，第3臂(22b)可旋转地安装在第1驱动轴(25)上，第4臂(21b)可旋转地安装在第2驱动轴(26)上。真空处理装置包括该基板搬运装置。

主权项

1.一种旋转导入机构，将设置在大气一侧的驱动源的旋转运动传送到真空中，其特征在于，具有由凸出部、润滑剂、和润滑剂保持部件构成的真空密封机构，形成凸出部使得所述凸出部与旋转轴的接触面积变小。