[发明专利]添加了螯合剂的药液的精制方法有效
| 申请号： | 200780044905.7 | 申请日： | 2007-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN101547741A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 饭山真充;阿部嗣 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J41/04 | 分类号： | B01J41/04;B01J47/10;B01J47/12;B24B37/00;B24B57/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 白 丽;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种添加了螯合剂的药液的精制方法，其从在半导体制造工序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的药液中除去螯合物，并且使洗涤负荷减轻。在半导体制造工序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的药液的精制方法中，通过用有机络合物吸附体来处理碱性药液，将由上述药液中含有的镍、铜等杂质金属形成的螯合物除去。 | ||
| 搜索关键词： | 添加 螯合剂 药液 精制 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种添加了螯合剂的药液的精制方法，其是在半导体制造工序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的药液的精制方法，其特征在于，将所述药液用有机络合物吸附体进行处理，从而除去所述药液中含有的由杂质金属形成的螯合物。
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