[发明专利]曝光设备

摘要

用于在布置在物体上的感光层中产生曝光结构的曝光设备，包括载物台和曝光装置，其中，载物台和曝光装置在进给方向上可彼此相对运动，并且其中，借助曝光装置可横向于进给方向地在感光层上位置控制地产生曝光光斑，为了如此改进该曝光设备，以使得尽可能高的曝光功率可供使用，也就是说每个单位时间能够产生尽可能大数量的曝光光斑，提出，曝光装置具有至少一个曝光单元，所述曝光单元具有一排在排列方向上相互跟随地布置的辐射出口区域，从所述辐射出口区域射出曝光光束，由这些曝光光束通过将每一个曝光光束引导穿过成像镜头而可以在感光层上产生曝光光斑，并且曝光光束中的每一个都可由偏转单元在横向于排列方向延伸的偏转方向上偏转，从而借助每个曝光光束在偏转方向上在若干相互跟随的曝光光斑位置上可产生彼此至少部分重叠的曝光光斑。

主权项

1.曝光设备，用于在布置在物体(22)上的感光层(24)中产生曝光结构(26)，所述曝光设备包括接纳所述物体(22)的载物台(14)和曝光装置(30)，其中，所述载物台(14)和所述曝光装置(30)在进给方向(16)上能够彼此相对运动，并且其中，借助所述曝光装置(30)能够横向于所述进给方向(16)地在所述感光层(24)上位置控制地产生曝光光斑(42)，其特征在于，所述曝光装置(30)具有至少一个曝光单元(50)，所述曝光单元(50)具有一排(52)在排列方向(53)上相互跟随地布置的辐射出口区域(54)，从所述辐射出口区域(54)射出曝光光束(56)，由所述曝光光束(56)通过将每一个所述曝光光束引导穿过成像镜头(102)而能够在所述感光层(24)上产生曝光光斑(42)，并且所述曝光光束(56)中的每一个都能够由偏转单元(64)在横向于所述排列方向(53)延伸的偏转方向(68)上偏转，从而借助每个曝光光束(60)在所述偏转方向(68)上在若干相互跟随的曝光光斑位置(90)上能够产生彼此至少部分重叠的曝光光斑(42)。