[发明专利]用于流体动力学地移除研磨下的物质及类似物质的研磨构造无效
| 申请号： | 200780046007.5 | 申请日： | 2007-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN101568406A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂文·J·贝纳 | 申请（专利权）人： | TBW工业有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/00 | 分类号： | B24B7/00 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴 艳;郑 霞 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用来从工件移除物质的研磨工具，形成为包括被配置为从工件表面有效移除研磨下的物质和废料的根据流体动力学设计的部件(孔、翼)。研磨构件(和/或背衬板)形成为包括根据流体动力学设计的部件，其造成将产生的碎屑(不同地称为“屑”，一般意味着由研磨工具移除的任何物质)拉离研磨表面的气流流动/压力差。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 流体动力学 研磨 物质 类似 构造 | ||
【主权项】：
1.一种研磨工具，其包括根据流体动力学设计的部件以改进从工件移除废料，所述研磨工具包括：底部件，其具有工作表面和背衬表面，其中至少所述工作表面具有研磨组分的涂层；以及形成在所述底部件上或穿过所述底部件形成的多个部件，其中所述多个部件配置为在研磨过程期间，在所述底部件的工作表面和背衬表面之间造成压力差。
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