[发明专利]陀螺仪的或关于陀螺仪的改进

摘要

一种陀螺仪结构(41)包括由八个柔性支腿(44a-44h)从中心毂(43)支撑的环结构(42)。主驱动传感器(45a，45b)和辅助驱动传感器(46a，46b)全部围绕环结构(42)的外周边并以与环结构(42)的外周边间隔开的关系设置以形成电容间隙，并且主采拾传感器(47a，47b)和辅助采拾传感器(48a，48b)全部围绕环结构(42)的内周边并以与环结构(42)的内周边间隔开的关系设置以形成电容间隙。该陀螺仪结构(41)包括与环结构(42)成间隔开的关系以形成电容间隙的十六个电容器板(49a-49p)。两组电容器板(49a-49d和49i-49l)全部围绕环结构(42)的内周边设置，而两组电容器板(49e-49h和49m-49p)全部围绕环结构(42)的外周边设置。每个电容器板(49a-49p)设置成产生作用在环结构(42)上预定的静电力，以局部地调节环结构(42)的刚度。传感器(45a-48b)和电容器板(49a-49p)的定位减少由于温度变化引起的相对于环结构(42)的电容间隙变化的影响，从而改善陀螺仪结构的标度因子。

主权项

1.一种振动结构陀螺仪，包括：半导体基片；振动平面环结构；设置成相对于该半导体基片支撑该环结构的支撑装置，该半导体基片、环结构和支撑装置被设置成彼此基本共面；设置成引起该环结构在主模式的共振频率下以主模式方式振荡的至少一个主驱动传感器；设置成检测主模式中环结构的振荡的至少一个主采拾传感器；设置成检测当绕基本垂直于环结构的轴线施加角速度时引起的辅助模式的振荡的至少一个辅助采拾传感器；设置成抵消所述引起的辅助模式振荡的至少一个辅助驱动传感器，该主驱动传感器和辅助驱动传感器以及主采拾传感器和辅助采拾传感器全部绕该环结构的周边设置；以及绕环结构的周边设置的至少两个振荡频率调节电容器板，使得当在至少一个电容器板和环结构之间施加一电压时，在电容器板和环结构之间产生静电力，以区分地调节所述主模式和辅助模式的频率，以减少主模式频率和辅助模式频率之间的差，其中至少一个电容器板设置在环结构的周边的外侧，而另外一个或多个电容器板设置在环结构的周边的内侧，并且其中至少一个驱动传感器或采拾传感器设置在环结构的周边的内侧，而另外一个或多个驱动传感器或另外一个或多个采拾传感器设置在环结构的周边的外侧。