[发明专利]灵敏度增加的热传感器有效
申请号: | 200780046811.3 | 申请日: | 2007-10-17 |
公开(公告)号: | CN101563590A | 公开(公告)日: | 2009-10-21 |
发明(设计)人: | 埃蒙·海因斯;威廉·莱恩;科林·格拉尔德·莱登 | 申请(专利权)人: | 模拟装置公司 |
主分类号: | G01J5/06 | 分类号: | G01J5/06;G01J5/10;G01J5/08;G01J5/24 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王 萍;李春晖 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供了一种热传感器,具有第一(1120,1125)和第二温度感应元件,每个都形成在第一衬底(110)中的热隔离台(1100)上。 | ||
搜索关键词: | 灵敏度 增加 传感器 | ||
【主权项】:
1、一种制造在半导体衬底上的电路,该电路包括热辐射敏感的第一和第二电子元件,每个电子元件提供对电路的总输出有作用的输出,其中所述电子元件共同位于与第一衬底热隔离的第一区域上。
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