[发明专利]在太阳能电池基板上进行电镀的方法与设备无效
| 申请号： | 200780047478.8 | 申请日： | 2007-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN101568670A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 瑟奇·洛帕汀;尼古拉·Y·科瓦尔斯基;大卫·伊格尔沙姆;约翰·O·杜科维克;查尔斯·盖伊 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D5/18 | 分类号： | C25D5/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明实施方式利用一新颖的方法和设备来形成低价太阳能电池，并利用电化学电镀工艺形成具有多条选择性形成的金属线之金属接点结构。所述的方法和设备不须实施一个或多个高温网印工艺也能在太阳能电池基板上形成导电特征结构。形成在一太阳能电池装置中的内联机电阻会大幅影响太阳能电池的效率。因此，需要形成具有可靠且价格经济实惠的低电阻连接的太阳能电池装置。因此，本发明之一或多实施方式适于利用一种内含常见金属(如，铜)的电化学电镀工艺来形成一低价、可靠的内连层。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 基板上 进行 电镀 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种在太阳能电池基板上形成金属层的设备，包含：掩蔽板，其具有主体、第一表面、第二表面和多个孔，且该孔延伸穿过介于第一表面与第二表面之间的主体；接点，其与第一电源连通；推板，其适以促使基板的金属化表面抵靠接点和掩蔽板的第一表面；第一电极，其与第一电源电连通，其中第一电源设置成可相对于接点来电偏压第一电极；以及第二电极，其与第二电源电连通，且第二电源适以相对于接点或第一电极来偏压第二电极。
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