[发明专利]研磨液组合物

摘要

本发明提供一种研磨液组合物，其含有包含铈和锆的复合氧化物粒子、分散剂和水系介质，其中，在通过照射CuKα1射线(λ＝0.154050nm)而获得的所述复合氧化物粒子的粉末X射线衍射光谱中，分别存在下述峰：顶点在衍射角2θ(θ为布拉格角)为28.61～29.67°的范围内的峰(第1峰)；顶点在衍射角2θ为33.14～34.53°的范围内的峰(第2峰)；顶点在衍射角2θ为47.57～49.63°的范围内的峰(第3峰)；以及顶点在衍射角2θ为56.45～58.91°的范围内的峰(第4峰)，并且，所述第1峰的半峰宽为0.8°以下。

主权项

1.一种研磨液组合物，其含有包含铈和锆的复合氧化物粒子、分散剂和水系介质，其中，在通过照射λ为0.154050nm的CuKα1射线而获得的所述复合氧化物粒子的粉末X射线衍射光谱中，分别存在下述峰：顶点在衍射角2θ为28.61～29.67°的范围内的第1峰；顶点在衍射角2θ为33.14～34.53°的范围内的第2峰；顶点在衍射角2θ为47.57～49.63°的范围内的第3峰；以及，顶点在衍射角2θ为56.45～58.91°的范围内的第4峰，其中，所述θ为布拉格角，所述第1峰的半峰宽为0.8°以下，在所述粉末X射线衍射光谱中，当存在由氧化铈产生的峰a1和由氧化锆产生的峰a2中的至少一个峰时，所述峰a1、a2的顶点的高度为所述第1峰的顶点高度的6.0％以下；并且，所述峰a1的顶点存在于衍射角2θ为28.40～28.59°的范围内，所述峰a2的顶点存在于衍射角2θ为29.69～31.60°的范围内。