[发明专利]用于确定在角度测量仪中导致偏心度的作用变量的方法有效

专利信息
申请号: 200780049512.5 申请日: 2007-12-06
公开(公告)号: CN101583851A 公开(公告)日: 2009-11-18
发明(设计)人: 海因茨·利普纳;克努特·西尔克斯;贝亚特·埃比舍尔 申请(专利权)人: 莱卡地球系统公开股份有限公司
主分类号: G01D5/244 分类号: G01D5/244;G01D5/347
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 李 辉
地址: 瑞士海*** 国省代码: 瑞士;CH
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摘要: 发明涉及一种用于确定角度测量仪中导致偏心度的至少一个作用变量的方法,所述角度测量仪具有探测器系统和旋转体,所述探测器系统包括四个光学探测器元件(3),所述旋转体包括围绕图案中心(MZ)设置的多个图案要素(6),其中,所述旋转体以能够围绕轴(4)旋转的方式设置,在所述方法中,将所述图案要素(6)的至少一部分投射在所述探测器系统上,分析投射在所述探测器系统上的那些图案要素(6)的位置,并且确定所述图案中心(MZ)相对于所述探测器系统探测器中心(DZ)的偏心度。从针对不同旋转位置的多个这种偏心度测量中,特别是以通过形成集合的方式,分离出当前偏心度的各种作用变量。
搜索关键词: 用于 确定 角度 测量仪 导致 偏心 作用 变量 方法
【主权项】:
1.一种用于确定角度测量仪中导致偏心度的至少一个作用变量的方法,所述角度测量仪具有:支承元件(1),所述支承元件具有探测器系统,所述探测器系统包括至少一个光学探测器元件(3),优选为三个或四个光学探测器元件(3),其中,所述探测器系统具有探测器中心(DZ);旋转体(2),所述旋转体具有围绕图案中心(MZ)设置的多个图案要素(6),其中,所述旋转体(2)以能够围绕一轴(4)相对于所述支承元件(1)旋转的方式设置,并且所述方法包括以下步骤:-将所述图案要素(6)的至少一部分投射在所述探测器系统上;-解算出投射在所述探测器系统上的图案要素(6)的位置;-测量所述图案中心(MZ)相对于所述探测器中心(DZ)的偏心;其特征在于,·针对不同的旋转位置执行多次偏心度测量;并且·尤其是通过形成集合的方式,从所述多次偏心度测量中分离出偏心度的至少一个作用变量。
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