[发明专利]谐波导出的电弧探测器无效
| 申请号： | 200780050086.7 | 申请日： | 2007-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN101595767A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 约翰·瓦尔科雷;韩玉峰;乔纳森·斯米卡;萨尔瓦托雷·波利佐;亚伦·T·瑞多姆斯基 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 康 泉;宋志强 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种电弧探测系统包括射频(RF)信号探针，该RF信号探针感应RF等离子体室的输入端处的RF信号并基于该RF信号的电压、电流和功率中的至少一种生成一信号。信号分析器接收该信号，监测该信号中具有大于或等于该RF信号的基波频率的频率的频率分量，并基于所述频率分量生成输出信号。该输出信号指示该RF等离子体室中正在发生电弧。 | ||
| 搜索关键词： | 谐波 导出 电弧 探测器 | ||
【主权项】：
1、一种电弧探测系统，包括：射频(RF)信号探针，该RF信号探针感应RF等离子体室的输入端处的RF信号，并基于该RF信号的电压、电流和功率中的至少一种生成一信号；以及信号分析器，该信号分析器接收该信号，监测该信号中具有比所述RF信号的基波频率高的频率的频率分量，并基于所述频率分量生成输出信号，其中该输出信号指示在所述RF等离子体室中正在发生电弧。
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