[发明专利]泵浦探针测量装置以及使用它的扫描探针显微镜装置

摘要

泵浦探针测量装置(1)具备：超短光脉冲激光产生部(11)，其产生成为泵浦光的第一超短光脉冲列以及成为探针光的第二超短光脉冲列；延迟时间调整部(15)，其调整超短光脉冲列的延迟时间；第一以及第二脉冲拾取器(13、14)，其分别入射第一以及第二超短光脉冲列，通过以任意的重复频率使一个脉冲透过来降低脉冲光的有效重复频率；延迟时间调制部(10)，其周期性地变更从第一以及第二脉冲拾取器(13、14)通过的脉冲的选择位置；照射光学系统(16)，其将泵浦光以及探针光照射到试样(19)上；测量部(20)，其对来自试样(19)的探针信号进行检测；以及锁定检测部(18)。

主权项

1.一种泵浦探针测量装置，具备：超短光脉冲激光产生部，其产生成为泵浦光的第一超短光脉冲列以及成为探针光的第二超短光脉冲列；延迟时间调整部，其调整上述第一超短光脉冲列以及第二超短光脉冲列的延迟时间；第一脉冲拾取器以及第二脉冲拾取器，其分别被入射上述第一超短光脉冲列以及第二超短光脉冲列，通过以任意的重复频率使一个脉冲透过来降低光脉冲的有效重复频率；延迟时间调制部，其周期性地变更由上述第一脉冲拾取器以及第二脉冲拾取器通过的光脉冲的选择位置；测量部，其具有将上述泵浦光以及探针光照射到试样上的照射光学系统，检测来自该试样的探针信号；以及锁定检测部，其以上述延迟时间调制部中的调制频率对来自上述试样的探针信号进行相位敏感检测，其中，上述第一脉冲拾取器或者第二脉冲拾取器变更要透过的光脉冲的选择位置，由此调制与透过了第二脉冲拾取器或者第一脉冲拾取器的光脉冲之间的延迟时间。