[发明专利]探针及探针卡无效
| 申请号： | 200780053525.X | 申请日： | 2007-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN101688885A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 和田晃一 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 高占元 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 探针(40)具备：与被测试半导体晶片上制作的IC器件的输入输出端子电连接的接点部(45)；顶端设置有接点部(45)的布线部(44)；在上面沿长度方向设置有布线部(44)的多个梁部(42)；以及以悬梁支承方式统一支承多个梁部(42)的台座部(41)，各梁部(42)在该梁部(42)的后端区域(422)由台座部(41)支承，在后端区域(422)，邻接的梁部(42)彼此之间设置有槽(43A)。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【主权项】：
1.一种探针，在被测试电子元件的测试时，与所述被测试电子元件的输入输出端子接触，以确立所述被测试电子元件与测试装置之间的电连接，其中，所述探针具备：与所述被测试电子元件的输入输出端子电连接的导电部；在一个主要面上设置有所述导电部的多个梁部；以及以悬梁支承方式统一支承所述多个梁部的台座部，各梁部在该梁部的后端区域由所述台座部支承，在所述后端区域，邻接的所述梁部彼此之间设置有槽。
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