[发明专利]激光振荡器内出射镜的老化状态测定方法以及激光加工装置有效
| 申请号： | 200780101632.5 | 申请日： | 2007-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101878087A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 伊藤健治;木村贤光;山冈理见 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/06;H01S3/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种利用从激光振荡器(1)射出的激光束(4)进行加工的激光加工装置，其具有：孔径部(5)，其配置在从激光振荡器(1)射出的激光束(4)的光路上，用于遮挡该激光束(4)的周边部分，使中央部分透过；以及波束功率测定传感器(6)，其测定透过该孔径部(5)的激光束(20)的波束功率，在该激光加工装置中，利用在通过高波束功率的激光束使激光振荡器(1)的出射镜成为高热负荷状态的情况下，透过孔径部(5)的激光束的波束功率根据出射镜(2)的老化状态而显著地变化(越老化，波束功率越上升)这一情况，判断出射镜(2)的老化状态。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 振荡器 内出射镜 老化 状态 测定 方法 以及 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种激光加工装置，其具有：激光振荡器，其射出激光束；孔径部，其配置在从所述激光振荡器射出的激光束的光路上，遮挡该激光束的周边部分，使中央部分透过；波束功率测定单元，其测定透过所述孔径部的激光束的波束功率；以及控制单元，其基于在规定波束功率的激光束射出时由所述波束功率测定单元测定到的波束功率值，判断所述激光振荡器的出射镜的老化状态。
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