[发明专利]扩散工艺中用于涂覆扩散源的装置无效
| 申请号： | 200810000056.1 | 申请日： | 2008-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN101275283A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 黄建伟;刘国友;邹冰艳;王大江;潘昭海 | 申请（专利权）人： | 株洲南车时代电气股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/04 | 分类号： | C30B31/04;H01L21/228;B05B7/30;B05D1/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 412001*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 公开了一种用于涂覆扩散源的装置，包括至少一个容器，所述容器中具有液态扩散源，所述装置还至少包括一第一管路和至少一第二管路，所述第一管路的一端伸入所述液态扩散源的液面以下，另一端为细嘴状喷口；所述第二管路的一端通入高速流动的压缩气体，另一端为细状喷嘴；所述喷口与喷嘴的位置紧贴，以使从所述喷嘴高速流出的压缩气体能够在所述喷口处形成负压，将所述容器内的液态扩散源110吸出喷成雾状涂覆于硅片表面。本发明能够在晶片表面形成均匀的扩散源涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 工艺 用于 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于涂覆扩散源的装置，其特征在于：包括至少一个容纳液态扩散源的容器，至少一第一管路和至少一第二管路，所述第一管路的一端位于所述液态扩散源的液面以下，另一端为喷口；所述第二管路的一端通入压缩气体，另一端为喷嘴；所述喷口与喷嘴的位置贴近，以使从所述喷嘴高速流出的压缩气体能够在所述喷口处形成负压，将所述容器内的液态扩散源吸出并喷成雾状涂覆于硅片表面。
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