[发明专利]使用宽带反射测定法的工艺终点检测方法

摘要

提供了一种使用宽带反射测定法的工艺终点检测方法，用于在图样化衬底的加工过程中确定图样化衬底的一部分中的结构的垂直尺寸，该方法包括：获得测量的净反射光谱，测量的净反射光谱由具有宽带光谱的光束至少照射图样化衬底的一部分产生；计算作为不同区域的反射率的加权非相干和的建模的净反射光谱，不同区域构成图样化衬底的一部分；对于宽带光谱中小于所选择的转换波长的波长，使用第一光学模型计算每个区域的反射率，将反射率作为薄膜叠层的反射场的加权相干和，薄膜叠层对应于构成区域的横向不同区；确定用于提供测量的净反射光谱和建模的净反射光谱之间的紧密匹配的一组参数；以及从一组参数提取图样化衬底的一部分中的结构的垂直尺寸。

主权项

1.一种在图样化衬底的加工过程中确定所述图样化衬底的一部分中的结构的垂直尺寸的方法，所述方法包括：获得测量的净反射光谱，所述测量的净反射光谱由具有宽带光谱的光束至少照射所述图样化衬底的所述一部分产生；计算作为不同区域的反射率的加权非相干和的建模的净反射光谱，所述不同区域构成所述图样化衬底的所述一部分；对于所述宽带光谱中小于所选择的转换波长的波长，使用第一光学模型计算每个区域的所述反射率，将所述反射率作为薄膜叠层的反射场的加权相干和，所述薄膜叠层对应于构成所述区域的横向不同区；确定用于提供所述测量的净反射光谱和所述建模的净反射光谱之间的紧密匹配的一组参数；以及从所述一组参数提取所述图样化衬底的所述一部分中的所述结构的所述垂直尺寸。