[发明专利]用于评估掩模的被评估图案的方法和系统无效
| 申请号： | 200810001014.X | 申请日： | 2008-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN101436216A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 伊谢·施瓦茨班德;肖穆里克·曼根;钱姆·布劳德;迈克尔·本-伊谢;加迪·格林伯格 | 申请（专利权）人： | 以色列商·应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;G03F1/00;G03F1/14 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 一种用于评估掩模的被评估图案的方法、系统和计算机程序产品，该方法包括：接收呈现被评估图案的图像的多个矩；其中需要呈现多个矩的信息的占用空间基本上小于形成被评估图案的图像的像素信息占用空间；以及处理多个矩以确定被评估图案的至少一个形状参数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 评估 图案 方法 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种用于评估掩模的被评估图案的方法，该方法包含：接收或计算呈现被评估图案的图像的多个矩；其中需要用于呈现多个矩的信息的占用空间基本上小于形成被评估图案的所述图像的像素信息的占用空间；以及处理所述多个矩，以确定被评估图案的至少一个形状参数。
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