[发明专利]高温精细颗粒铝加热器无效
| 申请号： | 200810001060.X | 申请日： | 2008-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN101230451A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 阿泊希·德塞;罗伯特·T·希拉哈拉;卡尔文·奥加逊 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/00 | 分类号： | C23C16/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种适合在高温衬底处理系统中使用的铝受热衬底支架及其制造方法。在一个实施方式中，一种铝受热衬底支架可以包括铝主体，连接到主体的柄轴和设置在主体内的加热元件。该主体具有小于大约250μm的平均颗粒尺寸。在一些实施方式中，所述柄轴到主体的接合点是完全穿透搭接焊接，这样提高了衬底支架的工作寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 精细 颗粒 加热器 | ||
【主权项】：
1.一种适合于使用半导体处理系统的衬底支架，所述衬底支架包括：具有小于大约250μm的平均颗粒尺寸的铝主体；嵌入所述主体中的加热元件；以及通过完全穿透搭接焊接接头连接到主体底部的柄轴。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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