[发明专利]抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 200810002256.0 | 申请日： | 2008-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN101482698A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 堀口明;赤井泰之;片山彻 | 申请（专利权）人： | 大赛璐化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种不仅使抗蚀剂制备时的溶解性、显影时抗蚀膜粘附性的特性提高，还使抗蚀剂稳定性提高，且安全性优异的抗蚀剂组合物。该抗蚀剂组合物含有抗蚀剂成分和有机溶剂，所述有机溶剂含有选自(a)由羧酸部分的碳原子数为2～6的羟基多元羧酸酯构成的羟基多元羧酸酯化合物组、(b)由羧酸部分的碳原子数为2～6的乙酰氧基羧酸酯构成的乙酰氧基羧酸酯化合物组以及(c)由羧酸部分的碳原子数为2～6的烷氧基羧酸酯构成的烷氧基羧酸酯化合物组之中的至少1种有机溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1. 抗蚀剂组合物，其含有抗蚀剂成分和有机溶剂，所述有机溶剂含有选自(a)由羧酸部分的碳原子数为2～6的羟基多元羧酸酯构成的羟基多元羧酸酯化合物组、(b)由羧酸部分的碳原子数为2～6的乙酰氧基羧酸酯构成的乙酰氧基羧酸酯化合物组、以及(c)由羧酸部分的碳原子数为2～6的烷氧基羧酸酯构成的烷氧基羧酸酯化合物组之中的至少1种有机溶剂。
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