[发明专利]具有对流式散热构造的长晶炉

摘要

本发明一种具有对流式散热构造的长晶炉，其长晶炉的炉内空间容设有加热室，加热室有上隔板、多个侧隔板、及下隔板。上隔板开设有上开口，下隔板开设有中央开口。硅浆冷凝时，透过下驱动器以驱动下阀门打开中央开口，使冷气流经由中央开口流入加热室下层，继由上驱动器驱动上阀门打开上开口，使热气流经由上开口流出、并沿着冷却的炉壁顺流而下，由中央开口流回加热室内。其自动对流式循环散热流场，可快速散热节省时间、提高生产效率。于冷却过程中，自底部开始固化结晶循序往上，使硅晶碇无内应力及碎裂存在，硅晶碇质量优良。

主权项

1、一种具有对流式散热构造的长晶炉，包括：一炉体，包括有一炉上腔、及一炉底盖，该炉底盖盖合于该炉上腔下方、并共同围绕形成一炉内空间；一加热室，容设于该炉体的该炉内空间内，该加热室包括有一上隔板、多个侧隔板、及一下隔板，并共同围绕形成一室内空间，该多个侧隔板与该炉体内壁的间间隔有一室外空间；以及至少一加热器，容设于该加热室的该室内空间内；其特征在于：该加热室的该上隔板开设有一上开口，该下隔板开设有一中央开口；以及该加热室还包括有一上阀门、一下阀门、一上驱动器、及一下驱动器，其中，该上驱动器是驱动该上阀门选择式地打开或对应闭合于该上隔板的该上开口，该下驱动器是驱动该下阀门选择式地打开或对应闭合于该下隔板的该中央开口。