[发明专利]静电执行机构、液滴喷出头、制造方法、液滴喷出装置

摘要

本发明提供了一种用于静电驱动方式的喷墨头等的静电执行机构、液滴喷出头、它们的制造方法、以及液滴喷出装置。在静电执行机构的绝缘结构中，可使静电执行机构的产生压力得到提高，并可实现提供驱动的稳定性及驱动耐久性。本发明的静电执行机构包括：固定电极(5)，形成在基板上；可动电极(6)，隔着规定间隔与该固定电极(5)对置配置；以及驱动单元，使固定电极(5)与可动电极(6)之间产生静电力，并使可动电极(6)发生位移，在静电执行机构中，在固定电极(5)和可动电极(6)中至少一个的对置面上形成有由Hf_xAl_yO_z膜构成的绝缘膜(7)。

主权项

1.一种静电执行机构，包括：固定电极，形成在基板上；可动电极，隔着规定间隔与所述固定电极对置配置；以及驱动单元，使所述固定电极与所述可动电极之间产生静电力，并使所述可动电极发生位移，所述静电执行机构的特征在于，在所述固定电极和所述可动电极中至少一个的对置面上形成有由HfxAlyOz膜构成的绝缘膜。