[发明专利]具有高崩溃电压与高电阻值的半导体结构及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200810003312.2 申请日: 2008-01-16
公开(公告)号: CN101221988A 公开(公告)日: 2008-07-16
发明(设计)人: 蒋秋志;黄志丰 申请(专利权)人: 崇贸科技股份有限公司
主分类号: H01L29/86 分类号: H01L29/86;H01L27/04;H01L21/02;H01L21/329;H01L21/822
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 任永武
地址: 台湾省台北县新*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种具有高崩溃电压与高电阻值的半导体结构及其制造方法,其半导体结构至少包括:一基板,为一第一传导类型;一深阱,为一第二传导类型,是形成于基板内并由基板的表面向下扩展;一对第一阱,为第一传导类型,是形成于基板内并由基板的表面向下扩展,且形成在深阱之内;一第二阱,为第二传导类型,是形成于基板的深阱内并由基板表面向下扩展,且第二阱形成在第一阱之间,第二阱的注入量是低于第一阱的注入量;一对第一掺杂区,为第一传导类型,是分别形成在第一阱之内由基板表面向下扩展。
搜索关键词: 具有 崩溃 电压 阻值 半导体 结构 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种半导体结构,至少包括:一基板,为一第一传导类型;一深阱,为一第二传导类型,是形成于该基板内并由该基板的表面向下扩展;一对第一阱,为该第一传导类型,是形成于该基板内并由该基板的表面向下扩展,且形成在该深阱之内;一第二阱,为该第二传导类型,是形成于该基板的该深阱内并由该基板表面向下扩展,且该第二阱形成在该对第一阱之间,该第二阱的注入量是低于该第一阱的注入量;以及一对第一掺杂区,为该第一传导类型,是分别形成在该对第一阱之内由该基板表面向下扩展。
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