[发明专利]放射线敏感性树脂组合物和滤色器无效
| 申请号： | 200810003776.3 | 申请日： | 2008-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN101231468A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 荒井雅史;河本达庆;松本龙;小林和博 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/031 | 分类号： | G03F7/031;G03F7/028;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 孙秀武;李平英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种放射线敏感性树脂组合物，其含有碱溶性树脂、着色剂、多官能性单体和光聚合引发剂，所述碱溶性树脂是选自不饱和羧酸(酐)和不饱和酚化合物的至少一种、含有烯丙基的化合物和与上述任意一种化合物不同的不饱和化合物的共聚物，并且通过凝胶渗透色谱(GPC)测定的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)与聚苯乙烯换算数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.0～2.0。干燥涂膜的溶剂再溶解性优良，曝光·显影后的被膜上不产生色斑，可以以高制品成品率形成以电压保持率等为代表的电特性方面信赖性优良的滤色器。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线 敏感性 树脂 组合 滤色器 | ||
【主权项】：
1.一种滤色器用放射线敏感性树脂组合物，其是含有(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多官能性单体和(D)光聚合引发剂的放射线敏感性树脂组合物，其特征在于：(B)碱溶性树脂为(b1)、(b2)和(b3)的共聚物，所述(b1)选自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐和不饱和酚化合物的至少1种；所述(b2)含有烯丙基的化合物；和所述(b3)选自芳香族乙烯基化合物、茚类、N-位取代马来酰亚胺、聚合物分子链的一个末端上具有(甲基)丙烯酰基的大分子单体、不饱和羧酸酯、不饱和羧酸氨基烷基酯、不饱和羧酸缩水甘油基酯、羧酸乙烯基酯、不饱和醚、不饱和酰胺和脂肪族共轭二烯的与上述(b1)、(b2)不同的至少1种不饱和化合物，并且通过凝胶渗透色谱(GPC)测定的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)与通过凝胶渗透色谱(GPC)测定的聚苯乙烯换算数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.0～2.0。
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