[发明专利]液体输送设备和用于生产液体输送设备的方法

摘要

一种液体输送设备，包括：基部构件，该基部构件具有形成有压力腔室和液体流动通道的表面，该液体流动通道与该压力腔室连通，且具有比压力腔室的流动通道横截面积小的流动通道横截面积；以及压电致动器，该压电致动器具有对压力腔室中的液体施加压力的压力施加部分、以及打开和关闭液体流动通道的开闭部分。该压力施加部分面对压力腔室，开闭部分面对液体流动通道，并且压力施加部分和开闭部分沿着基部构件的所述表面布置。

主权项

1.一种液体输送设备，包括：基部构件，该基部构件具有形成有压力腔室和液体流动通道的表面，该液体流动通道与该压力腔室连通，且具有比压力腔室的流动通道横截面积小的流动通道横截面积；以及压电致动器，该压电致动器具有对压力腔室中的液体施加压力的压力施加部分、以及打开和关闭液体流动通道的开闭部分，该压电致动器由叠层形成，该叠层包括：振动板，该振动板布置在基部构件的所述表面上，且覆盖压力腔室和液体流动通道；压电材料层，该压电材料层布置在振动板的位于不面对基部构件的一侧的表面上；第一电极，该第一电极在压电材料层的一个表面上布置在该表面的与压力腔室对应的区域处；第二电极，该第二电极在压电材料层的一个表面上布置在该表面的与液体流动通道对应的区域处；以及第三电极，该第三电极在压电材料层上布置成面对第一电极和第二电极，其中该压力施加部分面对压力腔室，该开闭部分面对所述液体流动通道，并且压力施加部分和开闭部分沿着基部构件的所述表面布置。