[发明专利]测力装置

摘要

一种测力装置，其中设有：在一个平面上沿一个方向相互隔离的多个第一固定电极；在与上述一个平面对向的平面上沿上述一个方向上相互隔离且与上述第一固定电极分别对向的多个第二固定电极；分别与上述第一固定电极之间和第二固定电极之间构成电容元件，并可向上述一个方向移动的多个可动电极；通过受到从外部作用的力，使上述多个可动电极向上述一个方向移动，使相互面对的上述第一固定电极与上述可动电极及上述第二固定电极与上述可动电极的对置面积发生变化的受力部。所述测力装置根据上述多个电容元件的静电电容值的变化来测量作用于上述受力部的力的大小。

主权项

1.一种测力装置，其特征在于，设有：在一个平面上沿一个方向相互隔离的多个第一固定电极；在与所述一个平面对向的平面上沿所述一个方向上相互隔离，且分别与所述第一固定电极对向的多个第二固定电极；与所述第一固定电极之间和与所述第二固定电极之间分别构成电容元件，并可向所述一个方向移动的多个可动电极；以及通过受到从外部作用的力使所述多个可动电极沿所述一个方向移动，以使相互面对的所述第一固定电极与所述可动电极和所述第二固定电极与所述可动电极的对置面积发生变化的受力部；根据所述多个电容元件的静电电容值的变化，测量作用在所述受力部上的力的大小。