[发明专利]液体密封单元以及具有该液体密封单元的浸没式光刻装置无效
| 申请号： | 200810005761.0 | 申请日： | 2008-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN101241310A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 申仁燮 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 黄启行;穆德骏 |
| 地址： | 韩国京畿道水*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种液体密封单元。该液体密封单元包括用于容纳液体并具有光通过其传输的光学喷嘴孔的存储容器以及用于容纳与光学喷嘴孔中容纳的液体相接触的流体的密封部分。也提供了一种具有该液体密封单元的浸没式光刻装置。因此，基本可以防止投影光学系统的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 密封 单元 以及 具有 浸没 光刻 装置 | ||
【主权项】：
1.一种液体密封单元，包括：存储容器，所述存储容器被配置为容纳液体并具有形成于其中且被配置为能使得光穿过其传输的光学喷嘴孔；和密封部分，所述密封部分被配置为容纳与在所述光学喷嘴孔中所容纳的所述液体接触的流体。
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