[发明专利]高性能微制造静电四极透镜有效
| 申请号： | 200810006812.1 | 申请日： | 2008-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN101236877A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 理查德·西姆斯 | 申请（专利权）人： | 麦克诺塞伊可系统有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/42 | 分类号： | H01J49/42 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨红梅;李春晖 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明提供了在微型四极静电透镜的几何形状中排列圆柱电极组的方法，所述微型四极静电透镜可以用作四极质谱仪中的质量过滤器。电极成对安装于由绝缘基底上的导电部分形成的微制造支撑上。导电部分的完全分割提供了在共面圆柱电极之间的低电容耦合，并且允许并入Brubaker预过滤器以提高在给定质量分辨率下的灵敏度。完整的四极由通过另外的导电间隔物间隔开的两个这样的支撑构成。间隔物在电极周围连续以提供导电屏蔽。 | ||
| 搜索关键词： | 性能 制造 静电 透镜 | ||
【主权项】：
1.由第一和第二微制造基座形成的静电四极透镜，每个基座具有绝缘基底，该绝缘基底上形成有被配置为分别接纳第一和第二电极的第一和第二安装部件，所述第一和第二安装部件物理上是彼此区分的。
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