[发明专利]光学元件激光损伤阈值的探测方法及其装置有效
| 申请号： | 200810007917.9 | 申请日： | 2008-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN101226148A | 公开（公告）日： | 2008-07-23 |
| 发明（设计）人： | 高智星;汤秀章;向益淮 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64;G01N21/958 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102413*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的光学元件激光损伤阈值的探测方法及其装置，利用激光器发出的激光辐照在被测光学元件表面所产生的荧光，观测光学元件表面的形貌变化，该激光器是KrF激光器，通过观测光学元件表面荧光强度分布的畸变来观测光学元件表面的形貌变化。该探测方法及装置可直观观测损伤的产生和发展过程，适于各类紫外光学元件表面损伤的在线测试，且灵敏度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 激光 损伤 阈值 探测 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.光学元件激光损伤阈值的探测方法，利用激光器发出的激光辐照在被测光学元件表面，观测光学元件表面的形貌变化，其特征在于，所述的激光器是KrF激光器，所述的观测光学元件表面的形貌变化是观测光学元件表面荧光强度分布的畸变。
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