[发明专利]可回火的玻璃涂层无效
申请号: | 200810007990.6 | 申请日: | 2008-02-22 |
公开(公告)号: | CN101259989A | 公开(公告)日: | 2008-09-10 |
发明(设计)人: | 麦特瑟斯·利斯特;格德·克雷德依特;雨朵·施雷伯;斯万·斯拉莫 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | C03C17/36 | 分类号: | C03C17/36;C23C14/34 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 肖善强 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及一种用于玻璃的银低E涂层,该涂层是可回火的并且可以通过溅射工艺涂覆在玻璃上。该涂层的各层是低成本的标准材料。本发明的一种实施方式组成如下:玻璃基材;玻璃上的厚度约为15nm的Si3N4层;Si3N4层上的厚度为15nm的TiO2层;TiO2层上的厚度为12.5nm的Ag层;Ag层上的厚度约为5nm的NiCrOx层以及最上面的厚度为45nm的Si3N4层。 | ||
搜索关键词: | 回火 玻璃 涂层 | ||
【主权项】:
1.具有涂层的可回火基材,包括:1)作为所述基材的玻璃;2)所述玻璃上的SixNyOz第一层;3)所述第一层上的TiO2第二层;4)所述第二层上的Ag第三层;5)所述第三层上的NiCrOk第四层;6)所述第四层上的SixNyOz第五层,其中x/y≤0.75且y/z>4,0<k<2。
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