[发明专利]机电共振器及其制造方法无效
| 申请号： | 200810008552.1 | 申请日： | 2008-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101232275A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 桥村昭范 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/125;H03H9/24;H03H3/007 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 肖鹂 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机电共振器及其制造方法。该机电共振器包括一共振器部，该共振器部包含固定电极以及与该固定电极以间隙分离地形成的振动器。该间隙具有沿该固定电极的厚度方向布置的第一间隙区域和第二间隙区域。该第一间隙区域的宽度不同于该第二间隙区域的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 机电 共振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种机电共振器，包括：共振器部，包含固定电极以及与所述固定电极以间隙分离地形成的振动器，其中所述间隙具有沿所述固定电极的厚度方向布置的第一间隙区域和第二间隙区域，以及其中所述第一间隙区域的宽度不同于所述第二间隙区域的宽度。
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