[发明专利]SrTiO3膜的成膜方法

摘要

本发明提供一种在处理容器内配置基板，对基板加热，将气态的Ti原料、气态的Sr原料和气态的氧化剂导入处理容器内，从而在基板上形成SrTiO₃膜的SrTiO₃膜的成膜方法。使用Sr(C₅(CH₃)₅)₂作为Sr原料。该方法依次进行如下工序：将气态的Ti原料导入处理容器内，使其吸附在基板上的工序；将气态的氧化剂导入处理容器内，分解被吸附的Ti原料，形成含Ti氧化膜的工序；将气态的Sr原料导入处理容器内，使其吸附在上述含Ti氧化膜上的工序；和将气态的氧化剂导入处理容器内，分解被吸附的Sr原料，形成含Sr氧化膜的工序，将这些工序作为1个循环，重复进行多个循环。

主权项

1.一种SrTiO3膜的成膜方法，其特征在于：其是在处理容器内配置基板，对基板加热，将气态的Ti原料、气态的Sr原料和气态的氧化剂导入所述处理容器内，从而在基板上形成SrTiO3膜的SrTiO3膜的成膜方法，其中，使用Sr(C5(CH3)5)2作为所述Sr原料，并且，依次进行如下工序：将所述气态的Ti原料导入所述处理容器内，使其吸附在基板上的工序；将所述气态的氧化剂导入所述处理容器内，分解被吸附的Ti原料，形成含Ti氧化膜的工序；将所述气态的Sr原料导入所述处理容器内，使其吸附在所述含Ti氧化膜上的工序；和将所述气态的氧化剂导入所述处理容器内，分解被吸附的Sr原料，形成含Sr氧化膜的工序，将这些工序作为1个循环，重复进行多个循环，将在各循环中形成的薄膜叠层，从而在基板上形成具有规定厚度的SrTiO3膜。