[发明专利]等离子加工设备有效
| 申请号： | 200810009320.8 | 申请日： | 2006-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN101232769A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李荣钟;崔浚泳;郑然周;孙亨圭;金春植;郑元基;朴希侦 | 申请（专利权）人： | 爱德牌工程有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种等离子加工设备，其在真空状态的腔室内产生等离子体从而利用该等离子体处理放置在该腔室内的基片，该等离子加工设备包括一个环绕于设置在该等离子加工设备内的电极周围的等离子体防护单元，用来阻止电极暴露于等离子体中。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 加工 设备 | ||
【主权项】：
1.一种等离子加工设备，包括：用于产生等离子体的电极；多个第一防护件，其彼此分开预定距离并围绕所述电极的表面以保护所述电极免受等离子体的影响；以及固定件，其安装所述第一防护件以将所述第一防护件压向所述电极从而固定所述第一防护件。
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