[发明专利]恒温维持装置无效
| 申请号： | 200810009331.6 | 申请日： | 2008-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN101311867A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | 苅谷知行 | 申请（专利权）人： | ATS日本株式会社 |
| 主分类号： | G05D23/13 | 分类号： | G05D23/13;H01L21/00;G05D23/19;F25D17/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 日本埼玉*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可应对外部热负荷装置的急遽的温度变化，热响应性高且可进行高精度的温度控制的恒温维持装置。来自恒温维持装置的主单元(1)的冷却侧水箱(43)的被调整到预定的温度的低温循环液通过供给配管(14)被供给给辅助单元(2)的三通阀(20)。另一方面，来自加热侧水箱(44)的被调整到预定的温度的高温循环液通过供给配管(15)被供给给三通阀(20)。低温循环液和高温循环液在三通阀(20)中根据外部热负荷装置(7)的温度调整比例混合后，被供给给热交换室(71)，从而使外部热负荷装置(7)的温度保持在设定温度。外部热负荷装置(7)的温度由设置在处理室上的温度传感器(72)、设置在恒温循环液供给管上的温度传感器(23)、设置在恒温循环液返回管上的温度传感器(24)计测，从而反馈控制三通阀(20)的阀的开度。 | ||
| 搜索关键词： | 恒温 维持 装置 | ||
【主权项】：
1.一种通过与热介质循环液的间接热交换控制外部热负荷装置的温度用的恒温维持装置，其特征在于，由主单元和辅助单元构成，该主单元具备高温热介质循环液生成装置和低温热介质循环液生成装置，该高温热介质循环液生成装置生成被调整到预定的温度的高温热介质循环液，该低温热介质循环液生成装置生成被调整到预定的温度的低温热介质循环液；该辅助单元具备恒温热介质循环液生成装置，该恒温热介质循环液生成装置通过直接混合上述高温热介质循环液和上述低温热介质循环液，同时按照上述外部热负荷装置的温度控制该高温热介质循环液和该低温热介质循环液的流量比，生成预定的设定温度的热介质循环液。
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