[发明专利]成膜方法及取向膜形成方法

摘要

本发明提供一种使喷出到基板上的多个液滴恰当地结合来形成均匀膜厚的液状膜的成膜方法及取向膜形成方法。液滴喷出装置以不相互接触的方式将液滴(Fb1)配置在分别在X箭头方向上与邻接的液滴(Fb1)的间隔为大于喷出间隔(W)的间隔的各目标喷出位置(P1、P2)。接着，液滴喷出装置将液滴(Fb2)配置在分别在X箭头方向上从目标喷出位置(P1、P2)偏离了喷出间隔(W)的一半间隔的各目标喷出位置(P3、P4)。因此，配置在各目标喷出位置(P3、P4)的液滴(Fb2)与先前配置的邻接的液滴(Fb1)大致均匀地接触。其结果，不会产生液滴(Fb2)只与任一方的液滴(Fb1)牵连、收缩而产生条纹、或被引靠而产生凸起，能够在基板上形成均匀膜厚的液状膜。

主权项

1、一种成膜方法，通过液滴喷出单元使功能液状体成为液滴并将其喷出到相对移动的基板上，在所述基板上形成液状膜，在所述基板上在所述液滴不相互接触的多个第一位置分别滴落配置了第一液滴后，在所述滴落配置的各第一液滴之间的第二位置滴落配置第二液滴，使所述第二液滴与邻接的多个第一液滴接触，形成液状膜。