[发明专利]具有泄浆导流结构的长晶炉

摘要

本发明揭露一种具有泄浆导流结构的长晶炉，其中，于负载框体的底板四周向下垂设有四片长檐板，并将四支串连起来的V形檐沟槽对应设置于四片长檐板的下方。如此，当负载框体内的坩埚若有泄流的高温熔融硅浆，将会先被导引顺着长檐板流动并滴下并辗转流至V形檐沟槽内，故可避免硅浆沿着桌板四周缘涎流至支撑柱使支撑柱断裂，造成坩埚倾倒与硅浆泛滥。再于炉底盖内增设收纳皿以容装大量泄流硅浆，并隔绝其流近支撑柱，除可保护支撑柱不受毁损外，亦可预防炉底盖受融熔硅浆的热冲击而导致扭曲变形。

主权项

1、一种具有泄浆导流结构的长晶炉，其特征在于包括：一炉体，包括有一炉上腔、及一炉底盖，该炉底盖盖合于该炉上腔下方、并共同围绕形成一炉内空间；一支撑桌体，设置于该炉体的该炉内空间内，该支撑桌体包括有一桌板、及多根支撑柱，该桌板透过该多根支撑柱以固设于该炉底盖内；一负载框体，被承置于该支撑桌体的该桌板上方，该负载框体包括有一底板、及多个侧板，该多个侧板环绕并立设于该底板上方、并共同围绕形成一内凹空间，该底板大于该支撑桌体的该桌板，该底板的外环周并围绕有一外周缘，该外周缘是延伸超出该桌板的外；多个檐元件，设置于该负载框体的该底板的该外周缘处；一组檐沟槽，设置于该炉底盖内，该组檐沟槽并对应设置于该多个檐元件的下方；以及一加热室，该加热室设置于该炉体的该炉内空间内，并容纳有该桌板、与该负载框体于其内，其中，该加热室包括有一下隔热板，该下隔热板的外环周并围绕有一外周缘，该下隔热板介于该多个檐元件与该组檐沟槽之间，该外周缘并向下对应至该组檐沟槽。