[发明专利]一种SiC纤维表面C/AlN复合梯度涂层制备方法

摘要

本发明涉及复合材料的制备技术，具体地说是一种连续SiC纤维表面C/AlN复合梯度涂层的制备方法。按如下步骤操作：第一步，富碳涂层SiC纤维的制备；第二步，将生产的SiC纤维缠绕在样品支架上，然后放入磁控溅射仪真空室内；第三步，当真空室的真空度优于1.0×10^-3Pa时，转动样品支架，对其进行加热、保温；第四步，保温结束后，首先通入氩气，然后通入氮气，使气体充分混合；第五步，启动射频反应溅射电源进行溅射，溅射结束后，关闭气路，保持真空度优于1×10^-3Pa下，降温至40℃以下。本发明可以解决一般碳涂层不能满足界面的复杂要求这个技术难题，采用本发明能够制备出强度较高且与钛合金基体界面性能稳定的SiC纤维。

主权项

1、一种SiC纤维表面C/AlN复合梯度涂层制备方法，其特征在于，按如下步骤操作：第一步，富碳涂层SiC纤维的制备；第二步，将生产的SiC纤维缠绕在样品支架上，然后放入磁控溅射仪真空室内；第三步，当真空室的真空度优于1.0×10-3Pa时，转动样品支架，对其进行加热，加热温度在300～600℃之间，升温速度为5～10℃/分钟，保温1～4小时；第四步，保温结束后，首先通入氩气，使真空室的气体分压在5×10-2Pa～5Pa之间，然后通入氮气，气体充分混合后，氩气和氮气的分压比1∶(0.5～5)；第五步，启动射频反应溅射电源，靶材为铝靶，控制靶功率在100W～500W之间，溅射时间为0.5～3小时，溅射结束后，关闭气路，保持真空度优于1×10-3Pa下，降温至40℃以下。