[发明专利]飞秒激光制备氧化锌纳米线阵列的方法及其装置无效
| 申请号： | 200810017839.0 | 申请日： | 2008-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101311358A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | 陈烽;贺永宁;杨青;边浩 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C30B28/02;H01L31/0296 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种飞秒激光制备氧化锌纳米线阵列的方法及其装置，属于微纳米材料制备和飞秒激光微加工技术领域，与氧化锌材料的周期性纳米微结构有关，特别是一种利用飞秒激光辐射场在氧化锌靶材上制备周期性纳米线阵列的方法。氧化锌纳米线阵列制备时先将氧化锌靶材固定在二维精密位移台上，然后将一束光飞秒激光经透镜聚焦，并使之作用于氧化锌靶材上，通过飞秒诱导和二维精密位移台配合扫描，产生氧化锌周期性纳米线阵列。本发明具有制备效率高，适用范围广，处理得到的氧化锌纳米线阵列排列整齐、均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 制备 氧化锌 纳米 阵列 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1、一种飞秒激光制备氧化锌纳米线阵列的方法，其特征在于，将一束光飞秒激光经透镜聚焦辐照氧化锌靶材上，产生周期性纳米线阵列，其具体步骤如下：1)选用脉冲宽度为20-120fs、波长为325-1200nm的超短脉冲激光，经一个凸透镜聚焦；2)选用基底为石英玻璃、普通玻璃或硅材料的氧化锌靶材；3)通过控制超短脉冲激光单脉冲能量10uJ-5mJ、脉冲频率10Hz-100kHz和脉冲宽度20-120fs，使激光作用于氧化锌靶材上，从而在光束聚焦的微区内诱导出周期性纳米线阵列。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810017839.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
