[发明专利]太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，该吸收涂层包括吸收层和减反射层，吸收层由溅射沉积在基体上的TiN层、溅射沉积在TiN层上的TiO层以及溅射沉积在TiO层上的TiO₂层构成，减反射层为溅射沉积在TiO₂层上的SiO₂层。该制备方法为：将基体装入镀膜机中并抽真压，随后通入氩气。通负电压轰击清洗基体，随后通负偏压，使钛靶通电，通入氮气，沉积TiN层。随后通入氧气，沉积TiO层和TiO₂。接着使SiO₂靶通电，通入氩气和氧气，沉积减反射层。本发明的太阳能选择性吸收涂层适用于平板太阳能集热器，具有耐高温、耐潮湿等优点。

主权项

1. 一种太阳能选择性吸收涂层，包括吸收层(2)和减反射层(3)，其特征在于：吸收层(2)由溅射沉积在基体(1)上的TiN层(21)、溅射沉积在TiN层(21)上的TiO层(22)以及溅射沉积在TiO层(22)上的TiO2层(23)构成，减反射层(3)为溅射沉积在TiO2层(23)上的SiO2层。