[发明专利]光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备有效
| 申请号： | 200810022195.4 | 申请日： | 2008-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN101319310A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 奚建平;周子彬 | 申请（专利权）人： | 奚建平 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 苏州市新苏专利事务所有限公司 | 代理人： | 许鸣石 |
| 地址： | 215163江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备，它包括有真空腔体(10)、电极盒子(20)；真空腔体(10)为可分离式真空腔体，它包括一个位于中段部位的主体部(11)和分别位于两端部位的可分离部(12、13)，主体部(11)和两端的可分离部(12、13)可密闭构成真空腔体，也可在需要装、卸沉积产品时分离开；电极盒子(20)装设在真空腔体主体部(11)内，且在工作中保持与真空腔体主体部(11)相对静止。本发明通过移动真空腔体的一部分，来避免电极盒子的运动，避免了电极频繁装卸接触而严重受损；避免了因电极受损而使得射频辉光不稳定进而导致产品合格率降低。此外，本发明结构简单，降低了制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 规模 制造 等离子体 化学 沉积 真空设备 | ||
【主权项】：
1.一种光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备，其特征在于：它包括有真空腔体(10)、电极盒子(20)；所述真空腔体(10)为可分离式真空腔体，它包括相对固定的主体部(11)和可分离部；所述电极盒子(20)装设在真空腔体主体部(11)内，且在沉积前、沉积过程中、沉积后都保持与真空腔体主体部(11)相对静止。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
