[发明专利]一种微机电系统磁场传感器及测量方法无效
| 申请号： | 200810022319.9 | 申请日： | 2008-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN101320081A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 陈洁;黄庆安;秦明;赵桂林 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种微机电系统磁场传感器及测量方法是一种功耗小、结构简单、响应快、可靠性好的磁场传感器及测量方法，由锚区(1)、感生金属线(2)、E型悬臂梁(3)、衬底(4)构成。E型悬臂梁由静电激励或者洛伦兹力驱动，E型悬臂梁(3)受力产生振动，在一定的频率作用下悬臂梁将产生谐振，镀在E型悬臂梁(3)上的感生金属线(2)能随E型悬臂梁(3)的振动而运动。在磁场存在的情况下，感生金属线(2)在磁场中作切割磁力线运动，这样金属线中就可以感生出感生电压，测量感生金属线(3)中的感生电压从而达到测量磁场的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 磁场 传感器 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统磁场传感器，其特征在于该传感器包括衬底(4)、E型悬臂梁(3)、感生金属线(2)，E型悬臂梁(3)平行悬空设于衬底(4)的上方，且左侧臂(32)、右侧臂(33)、中臂(34)与衬底(4)相连接；感生金属线(2)被设于E型悬臂梁(3)上表面，并能与E型悬臂梁(3)同步运动。
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