[发明专利]一种多组元的1-3型复合微结构薄膜及其制备方法无效
申请号: | 200810023800.X | 申请日: | 2008-04-28 |
公开(公告)号: | CN101274737A | 公开(公告)日: | 2008-10-01 |
发明(设计)人: | 祝名伟;陈延峰;唐月锋;张善涛;顾正彬;卢明辉 | 申请(专利权)人: | 南京大学 |
主分类号: | B81B1/00 | 分类号: | B81B1/00;B81C1/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 210093*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种多组元的1-3型复合微结构薄膜及其制备方法,该微结构薄膜包括材料A、材料B和材料C,其中材料A、B构成1-3型微结构薄膜的基体,材料C附着在材料B表面;材料C为单层或多层薄膜。其制备方法包括以下步骤:(1)在衬底表面制备相互隔离的柱状或螺旋状的材料B的微结构;(2)在材料B表面制备材料C,形成由材料B和材料C组成的微结构单元;(3)在所述微结构单元中填充材料A,即形成多组元的1-3型复合微结构薄膜。本发明结构新颖,制备简单,可在催化、能源、机械电子等领域获得应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 多组元 复合 微结构 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1、一种多组元的1-3型复合微结构薄膜,其特征是该微结构薄膜包括材料A、材料B和材料C,其中材料A、B构成1-3型微结构薄膜的基体,材料C附着在材料B表面;材料C为单层或多层薄膜;其中材料A、B、C是无机、半导体、有机、金属材料或其任意组合。
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