[发明专利]一种多组元的1-3型复合微结构薄膜及其制备方法无效

专利信息
申请号: 200810023800.X 申请日: 2008-04-28
公开(公告)号: CN101274737A 公开(公告)日: 2008-10-01
发明(设计)人: 祝名伟;陈延峰;唐月锋;张善涛;顾正彬;卢明辉 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: B81B1/00 分类号: B81B1/00;B81C1/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所 代理人: 柏尚春
地址: 210093*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种多组元的1-3型复合微结构薄膜及其制备方法,该微结构薄膜包括材料A、材料B和材料C,其中材料A、B构成1-3型微结构薄膜的基体,材料C附着在材料B表面;材料C为单层或多层薄膜。其制备方法包括以下步骤:(1)在衬底表面制备相互隔离的柱状或螺旋状的材料B的微结构;(2)在材料B表面制备材料C,形成由材料B和材料C组成的微结构单元;(3)在所述微结构单元中填充材料A,即形成多组元的1-3型复合微结构薄膜。本发明结构新颖,制备简单,可在催化、能源、机械电子等领域获得应用。
搜索关键词: 一种 多组元 复合 微结构 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
1、一种多组元的1-3型复合微结构薄膜,其特征是该微结构薄膜包括材料A、材料B和材料C,其中材料A、B构成1-3型微结构薄膜的基体,材料C附着在材料B表面;材料C为单层或多层薄膜;其中材料A、B、C是无机、半导体、有机、金属材料或其任意组合。
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